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更新时间：2024-09-11 | 阅读：100
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德国INFICON Transpector MPH/MPS质谱仪产品简介：
INFICON, RGA为您提供标准的和高性能的残余气体分析仪来满足您真空应用的需要. Transpector MPS 和Transpector MPH 均具有工业的数据收集速率, *小的可检分压(MDPP) 和讯噪比. 加上低的总体拥有成本和高的平均时间(MTBFs), Transpector MPS 和 Transpector MPH 帮助您的收益底线远超过市场上其它RGA系列产品.
1、TRANSPECTOR MPS–气体分析的标准
Transpector MPS 设计用于要求具有验证的 Transpector 品牌的高耐用性能,一般真空应用中的 RGA 分析. 质量范围100 或200 amu 的 Transpector MPS 提供标准的监测性能. RGA 的标准装备是法拉第杯检测器,当需要监测低浓度气体时, 可选用电子倍增器检测器.
2、TRANSPECTOR MPH–高性能用于高要求的应用
Transpector MPH 设计用于要求 RGA 具有*高监测性能的应用中. Transpector MPH 可提供 100, 200 和 300 amu 三种不同的质量范围, 具有工业上*低的 MDPP. TranspectorMPH 可装备法拉第杯或电子倍增器检测器, 以及提供可选的校准气体, 用于简易和RGA 质量标度自动调谐的校准参考.
3、传感器设计用于工业的MBTF和低的总体拥有成本
综合地采纳客户的反馈和深入的市场分析, INFICON 革新了Transpector MPS 和 Transpector MPH 的离子源. 新型离子源在阳及, 阴及和反射及的组装件中包含两根灯丝. 带有备用灯丝的双灯丝结构可延长 RGA 的运行周期和避免出现意外的系统停机故障. Transpector MPH 还提供特定应用的灯丝选择(钨灯丝用于含卤素的过程中或涂敷氧化钇的铱灯丝用于含氧的过程中) 确保过程本身不会影响灯丝的使用寿命.
在一般真空应用中 Transpector MPS 装备涂敷氧化钇的铱灯丝.在Transpector MPH 或 Transpector MPS 中, 更换灯丝组件等同于传统 RGAs 中更换整个离子源. 成本的节约将大大地降低这两种 RGAs 的总体拥有成本.
新型传感器结构提供更多的, 可现场更换电子倍增器 (如装备). 您可在定期的维护周期中快速地现场更换 EM. 新型倍增器已发展为具有更长使用寿命, 提供更高的法拉第杯(FC) 灵敏度和更强的增益.
4、可定标的通讯方法用于现代化的制造*心
Transpector MPS 和 MPH 采用以太网作为 RGA 与计算机之间默认的通讯手段. 对于单传感器运行, 可将传感器连接至现有的网络或直接连接任何计算机上的以太网端口. 采用现有的网络或用可选的路由器或以太网开关, 可实行多传感器运行.
5、满足您需要的软件
Transpector MPH 与得奖的 FabGuard 程序套件是兼容的, 包括与 FabGuard 工艺集成监测软件和FabGuard Explorer 检测软件.
为易于运行, Transpector MPS 设计于使用FabGuard Explorer 软件. 两种 RGAs 均配备机载的网页服务器,它允许从连接网络的任何设备, 无软件运行您的 Transpector MPS 或 MPH. 这个网页服务器不仅是可查阅标准数据的单个程序. 而是允许用于您预期的全部手动数据查阅技术, 包含检漏和传感器调谐等标准维护功能的网页服务器.
德国INFICON Transpector MPH/MPS质谱仪技术参数：
MPS100F | MPS100M | MPS200F | MPS200M | MPH100F | MPH100M | MPH200F | MPH200M | MPH300F | MPH300M | |
传感器长度(真空侧) | 14.3厘米(5.63 吋)
| 19.3厘米(7.83 吋) | 14.3厘米(5.63 吋) | 19.3厘米(7.83 吋)
| 14.3厘米(5.63 吋)
| 19.3厘米(7.83 吋)
| 14.3厘米(5.63 吋) | 19.3厘米(7.83 吋)
| 14.3厘米(5.63 吋) | 19.3厘米(7.83 吋)
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质量范围 | 1至100amu
| 1至200amu
| 1至100amu
| 1至200amu
| 1至300amu
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检测器类型 | FC
| EM/FC
| FC
| EM/FC
| FC
| EM/FC
| FC
| EM/FC
| FC
| EM/FC
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灯丝类型 | 双 Y2O3/Ir 灯丝
| 双Y2O3/Ir(一般应用)或钨(用于卤素环境的应用)灯丝
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分辨率(按1993 AVS的方法) | <1amu 宽度 @ 10% 峰高处,包括整个质量范围
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温度系数(在8小时周期内, 半小时升温后) | <1%峰高/°C(仅 FC)
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灵敏度–安/乇 FC | 3x10-4(2.3x10-4 )
| 6x10-4(4.5x10-4)
| 5x10-4(3.8x10-4)
| 4x10-4(3x10-4) | ||||||
*大数据率(模拟扫描或选定的峰) | 3毫秒/点
| 1.8毫秒/点
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零冲击波干扰在 M2 处 | <100ppm
| <5ppm
| <65ppm
| <100ppm
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总压强测量范围,乇 (毫巴) ** | 2x10-7 –5x10-4 (2.7x10-7 –6.7x10-4 )
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*大工作压强– 乇 (毫巴) | 5x10-4 (6.7x10-4 )
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*大烘烤温度(电子学卸除) | 300°C
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*大传感器FC 工作温度EM | 200°C N/A
| 200°C 150°C
| 200°C N/A
| 200°C 150°C
| 200°C N/A
| 200°C 150°C
| 200°C N/A
| 200°C 150°C
| 200°C N/A
| 200°C 150°C
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电源输入 | 20-30 伏(直流),30 瓦*大–典型值 24 伏(直流)1.25 安*大
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以太网通讯接口 | 标准: CAT5e 以太网电缆连接
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可选校准参考 | 无
| 氩用于EM校准或测试混合物用于调谐
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继电器输出 | 一个继电器, 24 伏在 0.5 毫安
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输入 | 一个模拟输入, 两个数字输入 | |||||||||
LED 指示灯 (绿色) | 一个用于指示电源状态, 一个用于指示发射状态 | |||||||||
*用一个基线噪声的标准偏差除以氮的灵敏度计算的.
**与分压强测量无关,用于连续的灯丝保护和分析.
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